| 直径 | 4" | 5" | 6" | 8" | |
| 外延层 | 掺杂 | Boron, Phos, Arsenic | |||
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| 晶向 | <100>, <111> | |||
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| 导电类型 | P/P++, N/N++, N/N+, N/N+/N++, N/P/P, P/N/N+ | |||
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| 电阻率 | 0.001-50 Ohm-cm | |||
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| 电阻率均匀性 | Standard <6%, Maximum Capabilities <2% | |||
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| 外延层厚度 (um) | 0.1-100 | |||
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| 厚度均匀性 | Standard <3%, Maximum Capabilities <1% | |||
| 衬底 | 晶向 | <100>, <111> | |||
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| 导电类型/掺杂元素 | P Type/Boron , N Type/Phos, N Type/As, N Type/Sb | |||
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| 厚度 (um) | 300-725 | |||
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| 电阻率 | 0.001-100 Ohm-cm | |||
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| 表面状态 | P/P, P/E | |||
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| 颗粒度 | <30@.0.5um | |||
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