Anti-static unit/防静电单元装置原理

通过调整用二氧化碳溶解模组(参照右上图)生成的二氧化碳饱和水和超纯水的混合比率，可调节超纯水的电阻率值。

CO2溶解原理

DIW在模组内的中空纤维膜内部流动。其间，从中空纤维膜外侧CO2溶入DIW内。溶解的二氧化碳在DIW内发生离子化，可使DIW具有导电性，消除静电。由于使用微细中空纤维膜束，可以有效获得二氧化碳溶解所需要的表面积。eFLOW2. 3A*型装载有两个二氧化碳溶解模组。

Anti-static unit/防静电单元定制规格·装置

清洁规格(流量～30L/min);低电阻率(0.025～0.05MΩ·cm)型;小型·电气部分离型;大流量(100 L/min)型;其他 可定制。

Anti-static unit/防静电单元主要用途

• 掩模、网袋的清洗• 洗涤器清洗• 高压喷射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗

Anti-static unit/防静电单元性能参数

P Series可安装在符合EIA（美国电子工业协会）规格的支架上。1AP型为标准机，连接部全清洁规格，2AP型为选购件，可对应全清洁规格。