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晶圆抛光粘合剂特征
•SPA系列:蓝宝石晶片抛光用粘合剂;
•高软化点和优异的耐热性;
•无粘合性;
•优异的旋涂性能。
晶圆抛光粘合剂工艺应用参数
型号 SPA-140 SPA-230N 成分 天然树脂酯 天然树脂酯 外貌 蓝色液体 蓝色液体 固含量(%) 40 ± 0.5 40 ± 0.5 粘度(cps 25℃) 5~10 5~10 比重(25℃) 0.87 ~0.89 0.87 ~0.89 酸值(mgKOH/g) 70~75 70~75 软化点(℃) 85~90 85~90 溶剂 2-丙醇 (IPA) 1-丙醇(正丙醇)