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晶圆抛光粘合剂

晶圆抛光粘合剂

晶圆抛光粘合剂经过研磨和退火处理后,晶圆背面涂上粘合剂并通过热风干燥,然后粘合到氧化铝板上。该产品通过金刚石浆料抛光的第一道工序和胶体二氧化硅抛光的第二道工序将晶片与氧化铝板紧密结合。即使在抛光之后,也很容易从板上分离晶片。

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产品详情


晶圆抛光粘合剂特征

SPA系列:蓝宝石晶片抛光用粘合剂;

高软化点和优异的耐热性;

无粘合性;

优异的旋涂性能。


晶圆抛光粘合剂工艺应用参数

型号

SPA-140

SPA-230N

成分

天然树脂酯

天然树脂酯

外貌

蓝色液体

蓝色液体

固含量(%)

40 ± 0.5

40 ± 0.5

粘度(cps 25℃)

5~10

5~10

比重(25℃)

0.87 ~0.89

0.87 ~0.89

酸值(mgKOH/g)

70~75

70~75

软化点(℃)

85~90

85~90

溶剂

2-丙醇 (IPA)

1-丙醇(正丙醇)


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